[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-A403-9] 核反応解析法と原子間力顕微鏡を用いたTiO_x/SiO_x/Siヘテロ構造におけるパッシベーション性能の支配要因

〇中川 裕太¹、後藤 和泰¹、ビルデ マーカス²、小倉 正平²、黒川 康良¹、福谷 克之²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東大生研)

キーワード：酸化チタン、パッシベーション、核反応解析法