[12p-B408-1~10] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[12p-B408-2] Optimization of the current scan parameters for a small-size CRDS-based trace-moisture analyzer

〇Hisashi Abe¹, Koji Hashiguchi¹, Shinichi Honda², Kenichi Itabashi², Hiroyuki Shimizu², Tomoki Miyake² (1.AIST, 2.Shinsei Technology)

Keywords:Cavity ring-down spectroscopy

現在、小型CRDS微量水分計の開発を行っている。小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって吸収線の中心波長での測定が困難となり、測定の精度・感度が低下する問題がある。これに対処するため、ダイオードレーザーの駆動電流を掃引して波長掃引を行い、得られた吸収スペクトルを解析することで水分濃度を決定する方法を採用している。今回、電流掃引のパラメーターの最適条件について調べた。