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△ [12p-B408-4] 高湿度標準発生装置における相対湿度発生の不確かさ評価
キーワード:相対湿度、不確かさ、湿度発生
近年の相対湿度計測の重要性増加に伴い、より信頼性の高い相対湿度計の実現に向け、相対湿度計の校正・性能評価にも高い信頼性が必要となっている。本研究では相対湿度計校正の信頼性向上を目的に、産総研の高湿度標準発生装置による相対湿度発生の詳細な不確かさ評価を行った。主要な不確かさ要因の一つである校正用試験槽の温度分布の正確な評価等を行い、10 %rhから98 %rhの発生における不確かさを見積もった。