[12p-D221-1~9] 9.4 熱電変換

[12p-D221-1] 熱電発電の高出力化に向けたAl 誘起層交換Si_1-xGe_x 膜の厚膜合成

〇小澤 知輝¹、草野 欽太¹、末益 崇¹、都甲 薫^1,2 (1.筑波大院、2.JST さきがけ)

キーワード：フレキシブル熱電、Al誘起層交換、シリコンゲルマニウム

SiGe 混晶は，宇宙用の熱電変換素子として高い実績を持つ．我々は，SiGe 熱電素子の独立電源への応用を目指し，Al 誘起層交換を用いて優れた熱電特性を有するSiGe 薄膜を絶縁基板（ガラス、プラスチック）上に合成してきた．今回，体積増大による出力向上を目的として，層交換SiGe の厚膜化を検討した．p 型Si_1-xGe_x（0≦x≦1）膜を1000 nm まで厚膜化し，熱電特性を明らかにしたので報告する．