The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Presentation information

Oral presentation

9 Applied Materials Science » 9.3 Nanoelectronics

[12p-D311-1~7] 9.3 Nanoelectronics

Thu. Mar 12, 2020 1:30 PM - 4:00 PM D311 (11-311)

Katsuhiko Nishiguchi(NTT), Yasuhisa Naitoh(AIST)

2:30 PM - 2:45 PM

[12p-D311-3] Investigation of Lateral-type TaOx-ReRAM using Nanogap Structures

Yasuhisa Naitoh1, Sumiya Touru1, Shima Hisashi1, Akinaga Hiroyuki1 (1.NeRI-AIST)

Keywords:nanogap, ReRAM

我々の有するナノギャップ作製技術を応用し、平面に配置されたReRAM素子を実現した。作製素子は数千回の連続動作でも問題なく動作し、また、導電性フィラメントが露出しているため、電子顕微鏡などでの観察が容易である。講演では、素子作製及び、観察したフィラメント構造の詳細構造・組成の観察結果などについても報告する。