[12p-D311-1~7] 9.3 Nanoelectronics

△ [12p-D311-4] Interdiffusion during heteroepitaxial Au growth on Pd thin films by electroless Au plating (ELGP) at room temperature

〇Meietu You¹, Ryo Toyama¹, Phan Trong Tue¹, Yutaka Majima¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:Palladium, Electroless gold plating, interdiffusion

本研究では、パラジウム薄膜上にELGPを施し、室温における金のパラジウム薄膜上へのヘテロエピタキシャル成長と室温相互拡散を確認したので報告する。