[12p-D311-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

△ [12p-D311-4] ELGP法による金のパラジウム薄膜上へのヘテロエピタキシャル成長と室温における相互拡散

〇楊 銘悦¹、遠山 諒¹、Tue Trong Phan¹、真島 豊¹ (1.東工大)

キーワード：パラジウム、無電解金めっき、相互拡散

本研究では、パラジウム薄膜上にELGPを施し、室温における金のパラジウム薄膜上へのヘテロエピタキシャル成長と室温相互拡散を確認したので報告する。