[12p-D311-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[12p-D311-7] SiナノワイヤFETを用いた多層グラフェンMEMSの機械振動検出

〇西口 克彦¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性研)

キーワード：トランジスタ、センサ、MEMS

LC共振回路をFETに接続し高周波信号の反射特性をモニタすることで、多層グラフェンで構成されるMEMSの機械振動の検出を試みた。2重LC回路、2層FETゲート構造などにより235MHzのグラフェン機械振動の検出に成功した。微小サイズや透明材料など、光では検出困難なMEMSの信号検出が可能となることから、新たなMEMS素子実現が期待できる