[12p-D411-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[12p-D411-13] 電界電子放出による酸化亜鉛の非加熱架橋化制御

〇下位 法弘¹、田中 俊一郎² (1.東北大院環境、2.東北大μSIC)

キーワード：電界電子放出、非平衡励起反応場、酸化亜鉛

ボトムアップ型アーキテクチャーとして電子線の非平衡励起反応場に着目し、酸化物粒子を構成する原子・分子集団を動かし非加熱かつシンプルなプロセスで薄膜型ナノコンポジット構造を創成する技術を確立する。本研究では、非平衡励起反応場として電界電子放出型電子線を用いた酸化亜鉛ナノ粒子の選択的架橋化による界面現象および架橋メカニズムを解明し、酸化亜鉛薄膜の非加熱形成および電気特性制御を試みた。