[12p-D411-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [12p-D411-4] Ptナノ粒子担持SnO₂薄膜の水素ガスセンシング特性

〇(M2)西河 秀平¹、柏木 誠¹、賈 軍軍²、中村 明³、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.早大国際理工、3.ミツミ電機(株))

キーワード：水素ガスセンサー、SnO2薄膜、スパッタリング

スパッタ法によりSnO₂を成膜し、その表面にPtのスパッタ成膜における薄膜成長初期過程の島状膜生成を応用して生成させたPtナノ粒子を触媒として担持したサンプルを作製した。Ptの担持量（被覆率）やPt担持前に行ったSnO₂薄膜の大気焼成温度が、室温での水素ガスセンシング特性に与える効果に関して、TEM, XPSやガス検知中のin-situホール効果測定の結果からセンシングの機構を考察した。