[12p-D411-1~14] 6.3 Oxide electronics

[12p-D411-9] Multilayered all-solid-state thin-film Lithium-ion battery

〇(M1)Kotaro Yoneda¹, Shogo Kanazawa¹, Masayasu Yoshida¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:all-solid-state thin-film Lithium-ion battery

全固体リチウムイオン薄膜電池は、MEMSやエナジーハーベスタの基板上にオンチップで組み込み可能な駆動源、電力貯蔵源として用いることが期待される。本研究では、Li₃PO₄添加酸化バナジウム(VO+LPO)正極、LiPON電解質、およびSi負極のアモルファス薄膜からなる薄膜セルを多層化することで直列素子構造をもつ全固体薄膜電池を作製し、出力電圧の向上を試みた。