[12p-D411-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[12p-D411-9] 全固体リチウムイオン薄膜電池の多層化

〇(M1)米田 宏太朗¹、金澤 翔吾¹、吉田 将康¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：全固体リチウムイオン薄膜電池

全固体リチウムイオン薄膜電池は、MEMSやエナジーハーベスタの基板上にオンチップで組み込み可能な駆動源、電力貯蔵源として用いることが期待される。本研究では、Li₃PO₄添加酸化バナジウム(VO+LPO)正極、LiPON電解質、およびSi負極のアモルファス薄膜からなる薄膜セルを多層化することで直列素子構造をもつ全固体薄膜電池を作製し、出力電圧の向上を試みた。