[12p-D419-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [12p-D419-12] 横方向成長したα型酸化ガリウム結晶のKOHエッチングによる転位評価

〇河原 克明¹、大島 孝仁¹、沖川 満¹、四戸 孝¹ (1.FLOSFIA)

キーワード：酸化ガリウム、転位、エッチング

ELOにより得られた島状α-Ga₂O₃結晶中の転位の振る舞いをKOHエッチングにより評価した。エッチピット法がα-Ga₂O₃結晶に対しても有効であることが分かり、既往の研究と同様にファセットによる転位の屈折や対消滅を示唆する結果が得られた。さらに、転位の屈折する方向には面内異方性が存在することを見出した。これはELOによる転位制御において面内異方性が重要な因子であることを示唆する。