[12p-D511-1~13] 【CS.6】 8.3 プラズマナノテクノロジーと9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートと13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

[12p-D511-13] 非平衡プラズマを用いたサイズ制御したカーボンナノ粒子の連続作製と堆積

〇古閑 一憲^1,2、黄 成和¹、石川 健治¹、Attri Pankaj¹、松尾 かよ¹、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、鎌滝 晋礼¹、白谷 正治¹ (1.九大、2.自然科学研究機構)

キーワード：ナノ粒子、プラズマ、ダイアモンドライクカーボン

本講演では、非平衡プラズマプロセスを用いたサイズ制御したナノ粒子の連続作製と、基板への堆積についての実験的研究結果を報告する。マルチホロー放電プラズマCVD法を用いて、プラズマ中にナノ粒子が滞在する時間によりサイズを制御可能であることを示した。