2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2020年3月12日(木) 13:45 〜 16:15 D519 (11-519)

佐道 泰造(九大)

15:45 〜 16:00

[12p-D519-9] Sapphire(0001)上にスパッタ形成したGe薄膜の結晶化

須川 響1、大田 晃生1、小林 征登1、田岡 紀之1、池田 弥央1、牧原 克典1、宮﨑 誠一1 (1.名大工)

キーワード:Ⅳ族結晶成長