[12p-PA1-1~18] 3.9 Terahertz technologies

[12p-PA1-16] Development of broadband high-frequency-resolution on-chip CW THz spectroscopy

〇Katsumasa Yoshioka¹, Norio Kumada¹, Koji Muraki¹, Masayuki Hashisaka¹ (1.NTT Basic Res. Lab.)

Keywords:Ultrafast transport, terahertz, on-chip

あらゆる電子デバイスの開発には、電気輸送特性の定量的評価が必要不可欠である。エレクトロニクスの更なる高速化のためには、既存の高周波デバイスの動作領域であるGHz帯から未開拓領域であるTHz帯に渡る広帯域な電流応答を、同一の測定系で、かつ高い周波数分解能で評価する手法の開発が必要である。そこで我々は、周波数可変な2色のCWレーザーが作り出す干渉を利用したコヒーレントホモダイン分光法を応用することで、導波路上を数百μm伝播する高周波電流応答を5 GHz ~ 1.5 THzに及ぶ広帯域かつ数MHzの高い周波数分解能でon-chip計測することに成功したので報告する。