[12p-PA1-1~18] 3.9 テラヘルツ全般

[12p-PA1-16] 広帯域高周波数分解能on-chip CW THz分光法の開発

〇吉岡 克将¹、熊田 倫雄¹、村木 康二¹、橋坂 昌幸¹ (1.NTT物性研)

キーワード：超高速輸送現象、テラヘルツ、オンチップ

あらゆる電子デバイスの開発には、電気輸送特性の定量的評価が必要不可欠である。エレクトロニクスの更なる高速化のためには、既存の高周波デバイスの動作領域であるGHz帯から未開拓領域であるTHz帯に渡る広帯域な電流応答を、同一の測定系で、かつ高い周波数分解能で評価する手法の開発が必要である。そこで我々は、周波数可変な2色のCWレーザーが作り出す干渉を利用したコヒーレントホモダイン分光法を応用することで、導波路上を数百μm伝播する高周波電流応答を5 GHz ~ 1.5 THzに及ぶ広帯域かつ数MHzの高い周波数分解能でon-chip計測することに成功したので報告する。