[12p-PA1-1~18] 3.9 テラヘルツ全般

[12p-PA1-5] 窒化物半導体を用いた集積型テラヘルツ帯パッチアンテナの解析

〇椋橋 健太¹、三浦 進¹、五島 敬史郎¹、永瀬 成範^2,3 (1.愛知工大、2.産総研 電子光、3.産総研 GaN-OIL)

キーワード：テラヘルツ、GaN、パッチアンテナ

近年、量子カスケードレーザーやGaAs系共鳴トンネルダイオード(RTD)THz発振器など、コンパクトな発振源が実現されつつあり、THz-TDSなどのTHz波検出方法も確立されつつある。そこで我々は、GaAsよりもバンドギャップが広く、高出力が期待できる窒化物半導体を用いたRTD THz発振器の作製を目指している。本発表では、テラヘルツ発振器の実現を目的とした、ストリップラインと電極部を取り入れたパッチアンテナ構造の解析を行ったので報告する。