[12p-PA3-1~33] 11 超伝導

[12p-PA3-17] Heイオン顕微鏡を用いた二ホウ化マグネシウム薄膜の微細加工

小野 享太朗¹、法澤 公寛²、大西 広³、中野 和佳子³、内藤 方夫⁴、酒井 大輔¹、〇柴田 浩行¹ (1.北見工大、2.阪大産研、3.北大電子研、4.農工大工)

キーワード：二ホウ化マグネシウム、Heイオン顕微鏡

MBE法により成長したMgB₂薄膜をHeイオン顕微鏡を用いて微細加工した。