[12p-PA4-1~20] 9.4 熱電変換

[12p-PA4-5] 薄膜熱電材料のpn接合界面が熱電特性に及ぼす影響

〇村川 星斗¹、上沼 睦典¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：熱電、薄膜、pn接合

薄膜型TEGの出力電力密度向上のためには、p型とn型の両方の材料を用いた構造が有効であり、p/n両方の薄膜材料の研究やpn界面の研究が必要である。本研究グループではこれまでにn型のアモルファスInGaZnO (IGZO)薄膜を用いたuni-leg薄膜型TEGの動作実証や、p型酸化物材料であるCuOの熱電特性評価を行ってきた。本研究では、n型材料のIGZOとp型材料のCuOを用いてpn接合を作製し、接合界面が熱電特性に及ぼす影響について評価した。