[13a-A202-1~12] 13.9 化合物太陽電池

[13a-A202-10] 近接昇華法によるAgGaTe₂成長中Ag₂Te層表面形態変化の分析

〇(M2)余 洋¹、小林 正和^1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研)

キーワード：太陽電池、Ag2Te

AgGaTe₂は太陽電池に適した材料であり、Ag₂Te中間層を導入することで、高品質薄膜が得られることを示してきた。AgGaTe₂薄膜の成長中にAg₂Te中間層がどのように変化するかを解析した。Ag₂Te単相膜はアニール温度や時間変化に表面形態や結晶に与える影響を光学顕微鏡やX線分析を用いて調べた。アニール時間を15分から75分まで変化し、アニール温度400^oCから600^oCまで変化すると、Ag₂Te中間層の表面形態を変化することを確認になった。