[13a-A205-7~7] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[13a-A205-7] [分科内招待講演] バーチャルメトロロジー技術を駆使した電子デバイスのスマートマニュファクチャリング

〇今井 伸一¹ (1.日立ハイテクソリューションズ)

キーワード：電子デバイス、機械学習、仮想検査

シリコンの半導体デバイスの製造において製造装置のビッグデータを活用したプロセスの特性の仮想計測（Virtual Metrology、以下VM）およびプロセス制御の研究開発と実用化に取り組んおり、これらの成果はI4.0におけるCPS実用化の先駆的なものである。本講演では電子デバイスの製造データの活用と機械学習の応用について述べ、具体的な事例としてプラズマ中のパーティクル数の予測やVMを活用した先進的プロセス制御（VM-APC）について紹介する。