[13a-A305-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13a-A305-2] 表面弾性波を用いた高精度量子電流源実現に向けたSplit-52型IDTの評価

〇(M1)太田 俊輔^1,2、高田 真太郎²、中村 秀司²、岡崎 雄馬²、金子 晋久²、小寺 哲夫¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：表面弾性波、IDT

表面弾性波を圧電体上に発生させると電気ポテンシャルの波が付随して発生し、その動的なポテンシャルの波で電子を運ぶことで、量子化電流を発生させることができる。我々は、最近の研究で報告されたSplit-52型櫛形電極(IDT)を用い、表面弾性波の動的なポテンシャルに工夫を行い、安定な量子電流源の実現を目指す。先行研究のIDTでは基本周波数が144 MHzと低かったため、本研究では電子ポンプに適したより高い周波数のIDTを作製、評価を行った。