2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 【一般公開】就活生必見!車は半導体でできている! ~車載半導体の未来と最先端研究者の「やりがい」~

[13a-A307-1~10] 【一般公開】就活生必見!車は半導体でできている! ~車載半導体の未来と最先端研究者の「やりがい」~

2020年3月13日(金) 10:00 〜 12:10 A307 (6-307)

為近 恵美(横国大)

11:35 〜 11:45

[13a-A307-7] 半導体プロセス量産技術開発の取り組み

釜地 義人1 (1.日立ハイテク)

キーワード:仕事

大学修士課程では兵庫県立大学高度産業技術研究所にて極端紫外線リソグラフィ(EUV)マスクブランクスにおける欠陥検査技術を研究。2010年に当社に入社し、次世代半導体プロセス向けマイクロ波プラズマエッチング装置の開発に従事。主に、プロセス再現性向上に向けた量産技術開発を担当。2015年から1年間、米国シンシナティ大学へ客員研究員として赴任し、Industorial Internet of Things (IIoT)に向けた予兆保全技術を研究。帰国後、量産性にかかわる多様な技術開発を海外顧客と共に推進中。日々やりがいを感じながら業務を進めています。