[13a-A401-1~11] 17.2 グラフェン

[13a-A401-3] ひずみ印加によるキャビティ封止型グラフェン共振器の共振特性向上

〇(M1)上坂 淳平¹、喜種 慎¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：グラフェン、共振特性、SU-8

近年グラフェンをセンサ機能膜として吸着分子を定量するMEMS共振型センサが注目されている。しかし、グラフェン共振膜が軽いことにより低Ｑ値を示し、周波数分解能が低下してしまう。本研究では、ドラム構造の架橋グラフェンの両端にSU-8パターンを形成し、SU-8の熱収縮によってfQ積の向上を検討した。熱処理により共振周波数は1.13倍、Ｑ値は1.7倍となり、ドラム構造の架橋グラフェンでの共振特性の向上を示すことができた。