The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Presentation information

Oral presentation

17 Nanocarbon Technology » 17.2 Graphene

[13a-A401-1~11] 17.2 Graphene

Fri. Mar 13, 2020 9:00 AM - 11:45 AM A401 (6-401)

Takayuki Arie(Osaka Pref. Univ.)

10:45 AM - 11:00 AM

[13a-A401-8] Suppression of Gate-Leakage Current in Graphene Biosensor

Kiyoji Sakano1, Takao Ono1,2, Yasushi Kanai1, Tomohiro Koyama1, Masami Tanioku1, Kaori Yamamoto1, Naruto Miyakawa3, Shota Ushiba3, Masahiko Kimura3, Koichi Inoue1, Daichi Chiba1, Kazuhiko Matsumoto1 (1.ISIR, Osaka Univ., 2.JST-PRESTO, 3.Murata Mfg.)

Keywords:graphene, biosensor, GFET

グラフェン電界効果トランジスタ(GFET)を用いたバイオセンサの測定誤差の原因の一つにゲートリーク電流があり、この抑制にためにGFET基板上にインクジェット描画による絶縁樹脂の塗布を行った。この結果、絶縁樹脂の重ね塗りによる膜厚増とともにリーク電流が抑制される傾向があり、絶縁樹脂の塗布前後で、リーク電流は数十分の一まで低減されることが確認できた。