10:45 AM - 11:00 AM
[13a-A401-8] Suppression of Gate-Leakage Current in Graphene Biosensor
Keywords:graphene, biosensor, GFET
グラフェン電界効果トランジスタ(GFET)を用いたバイオセンサの測定誤差の原因の一つにゲートリーク電流があり、この抑制にためにGFET基板上にインクジェット描画による絶縁樹脂の塗布を行った。この結果、絶縁樹脂の重ね塗りによる膜厚増とともにリーク電流が抑制される傾向があり、絶縁樹脂の塗布前後で、リーク電流は数十分の一まで低減されることが確認できた。