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[13a-A403-1] メスバウア分光によるシリコン太陽電池中の鉄不純物評価
キーワード:鉄不純物、メスバウア分光、マッピング技術
3D顕微メスバウア分光マッピング装置は鉄の状態分析に特化した計測技術である.γ線の無反跳核共鳴吸収(メスバウア効果)を利用し,観測による系への攪乱を全く与えることなく,1画像(80×80ピクセル・数10μm空間分解能)の計測が可能である.本報告では,このマッピング計測技術の基礎となる多結晶シリコン中の様々な鉄状態を同定するに至ったメスバウア分光による研究結果をまとめて紹介する.