[13a-A403-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [13a-A403-5] 単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価

〇(B)原 豊¹、横川 凌^1,5、大西 康平¹、神岡 武文¹、中村 京太郎²、大下 祥雄²、河津 知之³、長井 俊樹³、山田 昇⁴、宮下 幸雄⁴、小椋 厚志^1,6 (1.明治大理工、2.豊田工大、3.コマツNTC社、4.長岡技大、5.学振DC、6.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

キーワード：太陽電池

結晶シリコン太陽電池はウェハーの薄型化によって低コスト化が見込めるが、それに伴いウェハーの破損が懸念される。薄型ウェハーの破損を抑制するためには、高精度なスライス技術の確立が重要である。本研究ではスライスプロセスの制御に関して有用な知見を得ることを目的に、ウェハーの表面状態、結晶状態などのスライスダメージや、ウェハー内のダメージの分布を評価した。