11:30 AM - 11:45 AM
△ [13a-A403-9] Evaluation of film properties of p-type hydrogenated nanocrystalline silicon thin films for application to silicon heterojunction solar cells
Keywords:silicon heterojunction solar cells, nanocrystalline silicon, carrier selective contact
シリコンヘテロ接合(SHJ)太陽電池の高効率化に向けて、ナノ結晶シリコン(nc-Si:H)を利用し窓層における光学的な吸収ロスを低減しJSCの改善を図る研究が注目を集めている。これまでの研究から、極薄膜の(p)nc-Si:HをSHJセルに用いた場合、FF及びVOCが(p)a-Si:Hを用いた場合に比べ著しく低下することが確認されている。本研究では、その原因の調査の一環として、膜中のキャリア密度や結晶成長の指標を得るため、(p)nc-Si:Hの導電率及び結晶性を評価した。