[13a-A403-1~9] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [13a-A403-9] Evaluation of film properties of p-type hydrogenated nanocrystalline silicon thin films for application to silicon heterojunction solar cells

〇(P)Hiroshi Umishio¹, Hitoshi Sai¹, Takuya Matsui¹ (1.AIST)

Keywords:silicon heterojunction solar cells, nanocrystalline silicon, carrier selective contact

シリコンヘテロ接合(SHJ)太陽電池の高効率化に向けて、ナノ結晶シリコン(nc-Si:H)を利用し窓層における光学的な吸収ロスを低減しJ_SCの改善を図る研究が注目を集めている。これまでの研究から、極薄膜の(p)nc-Si:HをSHJセルに用いた場合、FF及びV_OCが(p)a-Si:Hを用いた場合に比べ著しく低下することが確認されている。本研究では、その原因の調査の一環として、膜中のキャリア密度や結晶成長の指標を得るため、(p)nc-Si:Hの導電率及び結晶性を評価した。