[13a-A403-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [13a-A403-9] Siヘテロ接合太陽電池への応用に向けたp型ナノ結晶Si薄膜の特性評価

〇(P)海汐 寛史¹、齋 均¹、松井 卓矢¹ (1.産総研)

キーワード：シリコンヘテロ接合太陽電池、ナノ結晶シリコン、キャリア選択性コンタクト

シリコンヘテロ接合(SHJ)太陽電池の高効率化に向けて、ナノ結晶シリコン(nc-Si:H)を利用し窓層における光学的な吸収ロスを低減しJ_SCの改善を図る研究が注目を集めている。これまでの研究から、極薄膜の(p)nc-Si:HをSHJセルに用いた場合、FF及びV_OCが(p)a-Si:Hを用いた場合に比べ著しく低下することが確認されている。本研究では、その原因の調査の一環として、膜中のキャリア密度や結晶成長の指標を得るため、(p)nc-Si:Hの導電率及び結晶性を評価した。