[13a-B407-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[13a-B407-6] 10 MeV Auイオン照射したYBa₂Cu₃O_y薄膜の酸素アニール効果

〇尾崎 壽紀¹、柏原 卓弥¹、久保 友幸¹、千星 聡²、末吉 哲郎³、岡崎 宏之⁴、越川 博⁴、山本 春也⁴、八巻 徹也⁴、坂根 仁⁵ (1.関学大理工、2.東北大金研、3.熊大工、4.量研機構、5.住重アテックス(株))

キーワード：超伝導、薄膜、イオン照射