[13a-B410-1~9] 3.7 Laser processing

[13a-B410-3] Observation of surface morphology processed by GHz burst mode femtosecond laser ablation

〇Kotaro Obata¹, Francesc Caballero-Lucas¹, Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP)

Keywords:Femtosecond laser, GHz burst mode, Ablation

近年、より高品質、効率的な除去加工を目的として、１パルスのレーザー光を数百 psの極短い間隔で、ひと続きの連続したパルス列を構成するGHzバーストモードが注目されている。GHzバーストモードでは、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つ通常モードのレーザー加工とは異なる除去効率（単位時間あたりの材料加工除去量）、アブレーション閾値を示すことが示された。本研究では、このGHzバーストモードにおいて、シングルショットでアブレーション加工した形状をレーザー走査顕微鏡により３次元的に評価し、除去効率などの詳細な加工特性を検討した。