[13a-B410-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[13a-B410-3] GHzバーストモードフェムト秒レーザーアブレーションによる表面加工形状の観察

〇小幡 孝太郎¹、カバジェロ ルカス フランセスク¹、杉岡 幸次¹ (1.理研　光量子)

キーワード：フェムト秒レーザー、GHzバーストモード、アブレーション

近年、より高品質、効率的な除去加工を目的として、１パルスのレーザー光を数百 psの極短い間隔で、ひと続きの連続したパルス列を構成するGHzバーストモードが注目されている。GHzバーストモードでは、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つ通常モードのレーザー加工とは異なる除去効率（単位時間あたりの材料加工除去量）、アブレーション閾値を示すことが示された。本研究では、このGHzバーストモードにおいて、シングルショットでアブレーション加工した形状をレーザー走査顕微鏡により３次元的に評価し、除去効率などの詳細な加工特性を検討した。