[13a-B410-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[13a-B410-6] 任意波形ナノ秒パルスレーザーによる加工に最適な時間波形の探索

〇遠藤 翼¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、ナノ秒パルス、熱的加工

短パルスレーザー加工におけるエネルギーの時空間ダイナミクスを明らかにするため，任意波形ナノ秒パルスレーザーを用いて，さまざまな時間波形のパルスを用いた試料の貫通加工を行って貫通にかかる時間を評価することで加工に最適な時間波形を探索する実験系を構築した。