[13a-B410-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[13a-B410-9] 超短パルスレーザー穴あけ加工における繰り返しレートとパルス幅の影響に関する広域連続的な分析

〇吉富 大¹、高田 英行¹、奈良崎 愛子¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー、レーザー加工、フェムト秒

パラメータ可変レーザー加工装置と加工痕自動解析プログラムを用いて、銅とアルミの超短パルスレーザー穴あけ加工において、レーザーパルスの繰り返しレートとパルス幅の影響に関する広域連続的な分析を行った。繰り返しレート 10 kHz～1 MHz、パルス幅 0.4～200 ps の範囲で加工痕の深さ（加工レート）と加工痕周囲のデブリの変化を調べた。