10:15 AM - 10:30 AM
[13a-D215-6] Growth of Cu-doped ZnS layer by sputter epitaxy method
Keywords:Zinc sulfide, Sputter
我々は,超高真空高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて,ZnS層のエピタキシャル成長を行っている.これまでに,ノンドープおよびAgドープZnS層について,840℃以上の高温領域におけるエピタキシャル成長を検討してきた.今回は,ZnS/Cuターゲットを用いてCuドープZnS層を成長し,ノンドープやAgドープZnS層の場合と比較検討を行ったので,その結果について報告する.