[13a-D215-1~7] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[13a-D215-6] スパッタエピタキシー法によるCuドープZnS層の成長

〇土井 優太¹、水野 愛¹、安藤 毅¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：硫化亜鉛、スパッタ

我々は，超高真空高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて，ZnS層のエピタキシャル成長を行っている．これまでに，ノンドープおよびAgドープZnS層について，840℃以上の高温領域におけるエピタキシャル成長を検討してきた．今回は，ZnS/Cuターゲットを用いてCuドープZnS層を成長し，ノンドープやAgドープZnS層の場合と比較検討を行ったので，その結果について報告する．