[13a-D215-1~7] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[13a-D215-7] UHVスパッタエピタキシー法によるZnS層の成長とその評価

〇水野 愛¹、土井 優太¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：ZnS層、カソードルミネッセンス、Si基板

これまで，Al₂O₃基板上に成長させたZnS層の結晶性や表面形態について検討を行ってきた．今回は，比較的安価でZnSとの格子不整合率の低いSi基板上にノンドープZnS単結晶層を成長させ，その特性について検討した．