[13a-D221-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[13a-D221-10] Intermediate-Temperature Flexible Film Thermistor Sensors

〇Tomohiko Nakajima¹, Tetsuo Tsuchiya¹ (1.AIST)

Keywords:flexible device, thermistor sensors, perovskite manganites

Al箔上へ陽極酸化、光結晶化手法を用いて作製したSiO₂/La_0.5Ba_0.5MnO₃/Al₂O₃/Al多層膜のサーミスタ特性を測定し、室温から450℃の温度範囲で2626Kのサーミスタ定数が得た。熱伝導が良く熱容量の小さいAl箔を基材としているため、薄膜サーミスタの利点である高速レスポンスが可能となり、室温～400℃間の温度サイクルを1000回行っても安定な動作をすることを確認した。