[13a-D221-1~12] 6.4 薄膜新材料

[13a-D221-10] 中温域フレキシブル薄膜サーミスタセンサ

〇中島 智彦¹、土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブルデバイス、温度センサ、ペロブスカイトMn酸化物

Al箔上へ陽極酸化、光結晶化手法を用いて作製したSiO₂/La_0.5Ba_0.5MnO₃/Al₂O₃/Al多層膜のサーミスタ特性を測定し、室温から450℃の温度範囲で2626Kのサーミスタ定数が得た。熱伝導が良く熱容量の小さいAl箔を基材としているため、薄膜サーミスタの利点である高速レスポンスが可能となり、室温～400℃間の温度サイクルを1000回行っても安定な動作をすることを確認した。