[13a-D221-1~12] 6.4 薄膜新材料

[13a-D221-8] TiO₂-RuO₂系膜における異方的スピノーダル分解発生の試み

〇村岡 祐治¹、前川 拓哉²、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹、竹元 嘉利³ (1.岡山大基礎研、2.岡山大理、3.岡山大院自然科学)

キーワード：スピノーダル分解、TiO2-RuO2 膜、ルチル型構造

ルチル型TiO₂-RuO₂系の(001)配向エピタキシャル成長膜を活用して、異方的スピノーダル分解の発生を試みた。その結果、相分解はc軸配向性を保ったまま、等方的に起こった。TiO₂-RuO₂系における等方的分解について、弾性エネルギーの観点から考察する。