2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[13a-D221-1~12] 6.4 薄膜新材料

2020年3月13日(金) 09:00 〜 12:15 D221 (11-221)

土屋 哲男(産総研)、西川 博昭(近畿大)

11:15 〜 11:30

[13a-D221-9] アナターゼ型Nb: TiO2エピタキシャル薄膜のフレキシブル化

〇(M1)平岡 壮大1、藤原 宏平2、西川 博昭3 (1.近大院生物理工、2.東北大金研、3.近大生物理工)

キーワード:酸化チタン、パルスレーザ堆積、エピタキシャル薄膜