2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

9 応用物性 » 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[13a-D305-1~10] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

2020年3月13日(金) 09:00 〜 11:45 D305 (11-305)

古藤 誠(サンディスク)、長島 一樹(九大)

09:45 〜 10:00

[13a-D305-4] ナノ接合の熱伝導度測定のための懸垂型素子の開発

〇(D)花村 友喜1、山田 亮1、夛田 博一1 (1.阪大院基礎工)

キーワード:原子接合、熱伝導度、微細加工

本研究では、原子スケールのナノ接合の熱伝導度の計測に向けて、サブミクロンスケールの測定系を真空中に吊り下げた懸垂型素子を開発した。微小熱電対とロックイン計測を組み合わせることで、高精度の温度計測を実現した。ナノ接合の元となる金属細線の計測結果や、素子設計上の工夫について述べる。