[13a-D419-1~12] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[13a-D419-2] Characterization of optical property in an Mg_xZn_1-xO/n-ZnO

〇Haruyuki Endo¹, Kazuyuki Meguro¹, Takashi Abe¹, Kyo Takahashi¹, Yasube Kashiwaba² (1.Iwate Ind. Res. Inst., 2.Iwate Univ.)

Keywords:MgxZn1-xO, Schottky photodiode

我々はこれまでUV-C波長域を選択的に検出可能なPt/Mg_xZn_1-xO/n-ZnO ショットキーフォトダイオード型UVセンサの開発を進めてきた。本報告では分光感度改善を目的とし、Mg_xZn_1-xO/n-ZnO構造の内部量子効率について調査するため、分光蛍光光度計、分光光度計および分光エリプソメータ等を使用してMg_xZn_1-xO/n-ZnOの光学特性を評価したので報告する。