[13a-D511-1~12] 9.4 熱電変換

[13a-D511-6] ナノ構造化Si薄膜における構造制御による高熱電性能化

〇坂根 駿也¹、石部 貴史¹、成瀬 延康²、目良 裕²、Alam Md. Mahfuz³、澤野 憲太郎³、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.滋賀医科大、3.東京都市大学)

キーワード：熱電、シリコン、シリサイド