[13a-D519-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[13a-D519-8] イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長

〇正宗 千明^1,3、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大、2.JSTさきがけ、3.材研)

キーワード：圧電材料、イオンビーム