[13a-PA1-1~17] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[13a-PA1-14] Bonding Between PDMS and Glass by Solid-Source H2O Plasma

〇Mie Tohnishi¹, Akihiro Matsutani¹ (1.Tokyo Tech. Semiconductor and MEMS Processing)

Keywords:H2O Plasma

PDMSとガラスなどの接合にはO₂プラズマが用いられている。これは材料表面にOH基を生成し、O原子を介して材料が接合できることを利用したものである。一方、水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合が報告されている。しかしながら液体ソースH₂Oプラズマでは、H₂Oの気化器を備え、配管中の結露防止などの対策が必要である。ここではシンプルな装置構成で固体ソースH₂Oプラズマ処理を実現し、PDMSとガラスの良好な接合特性が得られたので報告する。