[13a-PA1-1~17] 1.3 新技術・複合新領域

△ [13a-PA1-15] 微細加工した温度応答性感光樹脂薄膜における巨視的相転移の観察

〇藤本 美穂¹、松谷 晃宏¹、栁田 保子² (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大未来研)

キーワード：温度応答性感光樹脂、相転移、ポリ-N-イソプロピルアクリルアミド

フレネルゾーンプレート（FZP）は多数の輪帯（ゾーン）を同心に並べたものであり、各輪帯からの光が一点に同じ位相で集光する回折素子である。特定の温度で集光できるFZPを利用すれば、生体内の温度変化によって集光を制御可能なデバイスを実現できる。温度応答性材料の光学特性についてはこれまでに報告されているが、光学デバイス応用に関する報告は皆無である。本報告では、下限臨界溶解温度（LCST）を境に水を排出し巨視的に相転移することで光の透過率が変化する高分子（N-イソプロピルアクリルアミド、pNIPAAm）をベースとした温度応答性感光樹脂を用いて、FZPを微細加工し、温度感受性デバイスとしての可能性を検証した。