[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-PA2-1] パルス電圧印加によるPt/BaTiO_3-x/Pt多層膜の電流応答と電子構造

高田 文朝¹、藤田 健史¹、石田 潤一郎¹、堀場 弘司²、志賀 大亮³、組頭 広志^2,3、〇樋口 透¹ (1.東理大理、2.高エネ研、3.東北大)

キーワード：強誘電体薄膜、揮発性・不揮発性の電流応答、電子構造

スパッタ法によりクロスポイント構造を有するPt/BaTiO_3-x/Pt多層膜を作製し、パルス電圧による電流応答と軟X線分光による電子構造を研究した。このパルス電圧の間隔時間を変えることで、不揮発的・揮発的な電流応答を確認した。